“脂共”查询结果_在线百科全书查询

COP[poly(glycidylmethacrylate-co-ethylacrylate)]，甘油醇丙烯酸脂共四乙基丙烯胶盐这是一种化工原料。在集成电路工艺技术中，现在常常用作为电子束曝光的一种负性抗蚀剂；因为它在显影时也像其他负性抗蚀剂一样会膨胀，故分辨率只有1μm左右。详情>>