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COP [poly (glycidyl methacrylate-co-ethyl acrylate)] ,甘油醇丙烯酸脂共四乙基丙烯胶盐
这是一种化工原料。在集成电路工艺技术中,现在常常用作为电子束曝光的一种负性抗蚀剂;因为它在显影时也像其他负性抗蚀剂一样会膨胀,故分辨率只有1μm左右。