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“STRIPPING”查询结果_在线百科全书查询


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ASHING,STRIPPING电浆光

1.电浆预处理,系利用电浆方式(Plasma),将芯片表面之光阻加以去除。2.电浆光阻去除的原理,系利用氧气在电浆中所产生只自由基(Radical)与光阻(高分子的有机物)发生作用,产生挥发性的气体,再由帮浦抽走,达到光阻去除的目的。3.电浆光组的产生速率通常较酸液光阻去除为慢,但是若产品经过离子植入或电浆蚀刻后,表面之光阻或发生碳化或石墨化等化学作用,整个表面之光阻均已变质,若以硫酸吃光阻,无法 详情>>

ASHING STRIPPING 电浆 浆光


ultrasonic stripping

超声吹脱:基本原理 将空气通入废水中,使废水中溶解性气体和易挥发性溶质由液相转入气相,使废水得到处理的过程称为吹脱。被吹脱物质在液相和气相中的浓度差是其由液相转入气相的推动力。吹脱法的基本原理是气液相平衡和传质速度理论。超声吹脱即为超声波辐射和空气吹脱相结合的方法 详情>>

ultrasonic stripping