“三束”查询结果_在线百科全书查询
三束微细加工技术即通过电子束、离子束、光子束（激光、x射线）对待加工材料表面进行轰击（曝光）处理进而在亚微米、纳米尺度达到表面改性、刻蚀、表面掺杂改性、薄膜沉积等加工效果的加工技术。这种技术广泛应用于微电子器件加工、集成电路制造、微细图案刻蚀、离子注入掺杂、薄膜的沉积等加工与表面改性领域。 详情>>
概况简介研究力量科研支撑研究领域(材料改性薄膜合成新技术研究)建设管理发展目标主要成果(载能离子束与固体材料相互作用全方位离子注入技术及等离子体辅助沉积技术脉冲偏压电弧离子镀工艺基础研究b型铁硅半导体金属硅化物的离子注入合成激光表面处理工艺电弧离子镀技术微波ECR全方位离子注入激光表面改性技术)概况简介三束材料改性国家重点实验室于1988年5月经国家计委批准正式开始筹建，1991年10月通过国家验 详情>>
概况简介研究力量科研支撑研究领域(材料改性薄膜合成新技术研究)建设管理发展目标主要成果(载能离子束与固体材料相互作用全方位离子注入技术及等离子体辅助沉积技术脉冲偏压电弧离子镀工艺基础研究b型铁硅半导体金属硅化物的离子注入合成激光表面处理工艺电弧离子镀技术微波ECR全方位离子注入激光表面改性技术)概况简介三束材料改性国家重点实验室于1988年5月经国家计委批准正式开始筹建，1991年10月通过国家验 详情>>
三束 材料 改性 国家 重点 实验室 实验 验室 大连理工大学 大连 连理 理工 工大 大学
