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“硅靶”查询结果
“硅靶”查询结果_在线百科全书查询
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AL/SI铝/
硅靶
此为金属溅镀时所使用的一种金属合金材料利用Ar游离的离子,让其撞击此靶的表面,把Al/Si的原子撞击出来,而镀在芯片表面上,一般使用之组成为Al/Si(1%),将此当作组件与外界导线连接。
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