真空薄膜器件研究组

针孔薄膜器件研究组隶属于东北大学真空预流体研究中心，主要从事精密真空仪器系统和固态薄膜材料及其光电器件方面的应用基础研究与技术开发。 继硅晶体管集成芯片信息技术的飞速发展，现在已步入纳米芯片研究领域。随着纳米科学研究的深入，先后涌现出大量新的材料、技术、仪器及理论，如单分子光电开关、单电子输运、纳米线（管）、粒子靶向治疗、单分子激光及多维立体巨量信息存储等。 传统的实验研究多在大气室温条件下进行，周围的环境因素可能导致试验的失败或假象的出现，在进入纳米研究范畴后更是如此。有必要将实验置于清洁超高真空条件下进行，以有效排除环境因素的影响，进行深入系统的研究弄清各种现象背后的物理机制。这必然涉及到新型超高真空精密仪器系统的开发。在这方面国内目前的水平相对发达国家比较落后，未来可见发展前景与市场潜力十分巨大。 固态薄膜及其光电器件在日常生活中应用普遍，有幕墙玻璃、防划膜、重金属粒子过滤膜、多晶硅薄膜和有机电致发光薄膜等。有机及其复合薄膜，在新能源方面可以用作低成本、高效、超薄太阳能电池器件；也可以用作下一代可折叠、超轻、超薄柔性有机电致发光显示器；在单分子高密度光电信息存储器件及其相关传感器领域，薄膜材料由于具有分子多样化、易于合成与裁剪、重量轻、与生物材料相兼容等优点，其研究意义与前景优势非常明显。这是该组的另外一个主要研究方向。

研究方向一、真空精密仪器系统及其相关技术

Direction one: Vacuum precision instrument system and related technologies

此研究方向主要涉及各类新型真空精密分析仪器系统的设计、加工、制造及其相关技术的研究。比如，超高真空微纳探针系统、真空低温恒温变温薄膜微纳器件原位制备表征系统、薄膜器件真空退火与光电特性表征系统及真空高分子薄膜喷射系统的研究与开发等。此方向是与下一代纳米电子材料与器件研究紧密联系在一起的，这是一个高度交叉的应用研究方向，其内容涉及到机械、电子、物理、材料与控制等相关学科领域，详细内容请点击“研究方向一”。

研究方向二、功能薄膜及其光电器件

Direction two: Functional thin films and their opto-electrical devices

固态薄膜的用途十分广泛，常见的有如超硬涂层薄膜、固态润滑膜、传感膜、太阳能电池膜、有机电致发光薄膜及信息存储薄膜等。此研究领域一方面设计薄膜的制备与表征科学技术及相关仪器仪表的开发，另一方面有关薄膜材料及其器件的形成与物理机制的研究，也是非常关键的内容。本组现在与此有关的项目有二氧化锡金属氧化物半导体薄膜及其气敏传感器的研究、真空喷射镀膜过程机理的研究与太阳能原型器件的有机—金属界面电学特性的研究等。此研究领域在国内外的物理、材料、化学及电子工程等学科都十分活跃，交叉特点特别突出，研究成果日新月异，实际应用前景非常广阔。详细内容请点击“研究方向二”。