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一种制造铌或钽的含硅合金的方法,包括: A)形成包含铌或钽粉末和硅粉末的混合物,并挤压该混合物形成压制混合物; B)将该压制混合物附着到包含铌或钽的电极上; C)在真空电弧再熔条件下熔融该电极和压制混合物,使得该混合物与该熔融的电极混合; D)冷却该熔融的电极形成合金锭;和 E)对该合金锭施加热-机械加工步骤形成锻件。该方法提供了粒径比ASTM 5细的完全再结晶的铌或钽锻件,其可用于制造深拉杯和溅射靶。