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衰减全反射(Attenuated Total Reflection,ATR):光波入射时,入射面内偏振的单色平面光波在密-疏媒质的界上全反射时,光疏媒质中所形成的迅衰场(见衰减波)量可以被耦合到金属或半导体的表面上而使表面等离元(SP)或表面极化激元共振激发。全反射的光强因而发生剧邃衰减的现象。
利用光学中的迅衰场与SP相耦合衰减全反射方法在1968年由A.奥托提出。