硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

基本信息

内容简介

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作　者：本社 主编

出 版 社：凤凰出版社

出版时间：2010-1-1

版　次：1页　数：6字　数：13000印刷时间：2010-1-1开　本：大16开纸　张：胶版纸印　次：1I S B N：15506955包　装：平装

内容简介

本标准个性采用SEMI MF 1188-1105《用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法》。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。