硅化锆

中文名称 硅化锆

英文名称 zirconium disilicide

CAS NO. 12039-90-6

EINECS 234-911-1

分子式 ZRSI2

分子量 147.39

物理化学性质 密度 4.88

主要可用作精细陶瓷原料粉，用于生产半导体薄膜生产用坩埚。