高纯气体系统用自动吹洗组件

高纯气体系统用自动吹洗组件（Usedin HighPurity Gas System Automatic Purge Assembly）

气体工业名词术语。全程序化微信息处理机控制器可实现系统的自动吹洗。可以很容易地改变吹洗参数，例如阀门顺序，吹洗循环次数和吹洗时间等。系统的吹洗硬件响应于来自指令部分的气动信号，启动无填料膜片阀。硬件还包括真空发生器，用于每次抽空系统。自动吹洗组件适用于吹洗有毒气体。