薄膜材料制备原理技术及应用

基本信息

内容简介

基本信息

作　者：唐伟忠 著出 版 社：冶金工业出版社ISBN：9787502430979出版时间：2003-01-01版　次：2页　数：323装　帧：平装开　本：32开所属分类：图书 > 工程 > 材料工程

内容简介

本书以薄膜材料为中心，系统地介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，薄膜材料微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法等。在此基础上，本书还有选择地讨论了薄膜材料在力学、光电子学、磁学等领域的典型应用实例，其中涉及各种机械防护涂层、金刚石膜、光电子器件、集成光学器件、磁记录及光记录介质材料等技术。