薄膜与微细技术教育部重点实验室

简介

薄膜与微细技术教育部重点实验室建立于1993年8月，1993年12月正式开放运行。实验室依托上海交通大学。2000年经教育部批准更名为教育部重点实验室。

2002年9月参加教育部的评估，评估结论为五个优秀实验室之一，这次是实验室建立以来第一次参加国家重点实验室的评估。

实验室以薄膜与微细技术领域的原创性研究和国民经济建设的需求为主要研究方向，开展微米纳米技术和应用的前沿研究。

重点放在薄膜电子材料及薄膜传感器、微细加工技术、微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、纳米电子学、纳米材料与技术等方面的应用基础研究。几年来主持、参与完成了一批国家973项目、国家863计划项目、国家自然科学基金项目、国家“九五”“十五”攻关项目、以及包括解放军总装备部、教育部、上海市科委等的省部委重大、重点项目。

获得国家技术发明二等奖一项、各种省部委奖7项、共申请发明专利36项，获授权4项。实验室积极开展国际学术交流，注重实验室的开放与国际、国内的合作，培养了一支以具有博士学位的教师为主的科研和教学队伍。

经过几年的努力，目前在薄膜与微细技术方面，特别在三维非硅材料的加工、电磁型微驱动器、形状记忆合金薄膜驱动器、纳米传感器、纳米电子学和纳米材料制备、纳米碳管排布技术等方面形成了自己的特色，成为国家的重要研究基地之一。实验室在处于启动阶段的“十五”计划中，签订了包括国家863计划等在内的40多项项目，呈现了强劲的发展趋势。